Jednostka sterująca systemu kriopump

Jednostka sterująca systemem kriopump jest „mózgiem” całego systemu kriopump, który jest odpowiedzialny za precyzyjną regulację i kompleksowe monitorowanie działania kriopumpy w celu zapewnienia stabilnego i wydajnego działania kriopumpy.

Kluczowe funkcje:

• Kontrola operacji: podejmuje kluczowe zadanie uruchomienia i zatrzymania pompy kriogenicznej i może dokładnie dostosować prędkość pompy zgodnie z rzeczywistym zapotrzebowaniem. Regulując prędkość, szybkość pompowania kriopump można elastycznie kontrolować, aby dostosować się do różnych środowisk próżniowych i wymagań procesowych. Na przykład na różnych etapach produkcji półprzewodników popyt na poziom próżni zmienia się dynamicznie, a jednostka sterująca może odpowiednio dostosować prędkość kriopump w celu utrzymania odpowiedniego stanu próżniowego.
• Monitorowanie parametrów: Monitorowanie w czasie rzeczywistym serii kluczowych parametrów w układzie kriopump, w tym między innymi temperatura, ciśnienie, poziom cieczy itp. Cryopump bezpośrednio wpływa na jego wydajność, a jednostka sterująca ciągle śledzi te dane temperaturowe, aby upewnić się, że sprzęt działa w odpowiednim zakresie temperatur. Gdy parametr zmienia się nieprawidłowo, odpowiedni mechanizm ochrony jest natychmiast uruchamiany.
• Ochrona bezpieczeństwa: wbudowany mechanizm ochrony bezpieczeństwa w celu zapewnienia bezpieczeństwa sprzętu i personelu w sposób wszechstronny. Gdy ciśnienie systemowe jest wykrywane jako zbyt wysokie, szybko uruchamia się urządzenie do zwolnienia ciśnieniowego, aby zapobiec poważnym wypadkom, takim jak uszkodzenie sprzętu, a nawet eksplozja spowodowana nadmiernym ciśnieniem; Jeśli stwierdzono, że prąd silnika jest przeciążony, odetnij zasilacz w czasie, aby uniknąć wypalenia silnika. Jednocześnie ma również funkcje ochrony wycieków i ochrony nad temperaturą w celu zbudowania solidnej linii bezpieczeństwa dla stabilnego działania systemu.
• Diagnoza uszkodzenia i alarm: Inteligentna analiza statusu operacyjnego kriopump przez cały czas, po uchwyceniu nieprawidłowej sytuacji, rodzaj i lokalizację uskoków można szybko i dokładnie zdiagnozować. Na przykład, gdy wydajność pompowania pompy nagle spada, jednostka sterująca analizuje odpowiednie parametry w celu ustalenia, czy adsorbent wewnątrz pompy się nie powiódł, czy też wyciekł rurociąg. Po potwierdzeniu usterki dźwiękowy i wizualny sygnał alarmowy zostanie wysłany natychmiast, a informacje o błędach zostaną wyraźnie wyświetlane na ekranie wyświetlacza, aby przypomnieć operatorowi, aby poradził sobie z nim na czas.